원익IPS, 챔버 세정 방법 관련 특허권 취득
[아시아경제 주상돈 기자] 원익홀딩스 원익홀딩스 close 증권정보 030530 KOSDAQ 현재가 30,400 전일대비 450 등락률 -1.46% 거래량 627,401 전일가 30,850 2026.04.22 15:30 기준 관련기사 '휴전 지속 기대감' 장 초반 코스피 5800 후반대…코스닥도 상승 NH-Amundi운용, HANARO K휴머노이드테마TOP10 ETF 상장 종목은 잘 골랐는데 투자금이 아쉽다면? 연 4%대 금리로 최대 4배까지 는 비정질탄소막 증착공정에서의 챔버 세정 장치 및 이를 이용한 챔버 세정 방법에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.
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회사 측은 "챔버 내부로 별도의 분리된 경로를 통해 세정가스를 공급해 챔버 내부 세정 효율 향상시키는 기술"이라고 설명했다.
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