주성엔지니어링, 대만 AUO에 차세대 디스플레이 설비 공급

[아시아경제 이지은 기자]반도체 제조장비 전문기업 주성엔지니어링(대표 황철주)은 대만 패널 제조업체인 AUO에 차세대 디스플레이 제조를 위한 핵심공정인 '산화막 박막트랜지스터(Oxide TFT)용 이그조 유기금속화학증착장비(IGZO MOCVD)'를 공급했다고 19일 밝혔다.

IGZO MOCVD는 기존 LCD 패널 구동소자의 재료인 비결정(amorphous) 실리콘보다 전자 이동 속도를 약 100배 가까이 높여, 차세대 고해상도·초고선명 디스플레이 제조를 가능하게 하는 기술이다. 이그조는 인듐 (In), 갈륨(Ga), 아연(Zn), 산화막(Oxide)의 앞글자를 딴 것으로 고해상도의 모바일 기기 디스플레이에 적합하다.

AUO는 지난해 중반부터 주성엔지니어링의 IGZO MOCVD 기술을 차세대 디스플레이 패널에 시험 적용하는 평가를 시작했으며, 지난 5월 캐나다 밴쿠버에서 열린 국제 정보디스플레이 학회(SID)에서도 IGZO MOCVD 방식이 물리기상증착(PVD) 방식 대비 이동도(Mobility)가 3배 이상 증가하고 전력소모량 또한 20% 이상 저감되는 효과가 있다고 평가한 바 있다.

주성엔지니어링은 앞으로 차세대 디스플레이 세계 시장 확대에 나서겠다는 계획이다. 주성엔지니어링 관계자는 "주성의 IGZO MOCVD 기술은 세계 최초·최고의 투명 Oxide TFT 기술을 구현한 세계 유일의 기술로 향후 미래형 디스플레이에도 안정적으로 적용할 수 있다"며 "이번 공급을 발판으로 급변하는 디스플레이 시장에서 가파른 매출성장을 이끌어 내겠다"고 말했다.

이지은 기자 leezn@asiae.co.kr