디엔에프, 삼성전자에 DPT재료 납품 개시

[아시아경제 송화정 기자]반도체 화학재료 전문기업 디엔에프 가 삼성전자에 반도체 DPT(Double Patterning Technology) 공정 재료 납품을 시작했다고 23일 밝혔다.

차세대 리소그래피 장비 개발의 한계로 30나노 이하 패턴 구현이 어려워짐에 따라 삼성전자는 미세패턴 구현을 위해 Sa-DPT(Self-aligned DPT) 공정을 개발했다. 이러한 반도체 공정 개선에 따른 재료 국산화 요구에 발맞춰 디엔에프는 DPT 재료 국산화에 성공해 최근 1년간의 평가 기간을 거쳐 4월부터 납품을 시작하게 됐다.

그 동안 미국의 에어프로덕트(Airproduct)가 삼성전자 내 DPT 시장을 독점해왔으나 이번 납품을 계기로 디엔에프는 점차 시장점유율을 늘려나갈 예정이다. 매출은 올해 100억원, 내년에는 200억 원 이상을 예상하고 있다.

디엔에프 관계자는 "최근 반도체 미세공정이 가속화 되면서 DPT 재료 수요가 급증하고 있다"며 "DPT 재료의 수요는 향후 5년간 꾸준히 증가할 것으로 예상하며 디엔에프의 매출성장 기반에 크게 일조할 것으로 기대하고 있다"고 덧붙였다.

송화정 기자 yeekin77@