테스, 기판처리장치 관련 특허권 취득

[아시아경제 이윤재 기자] 테스 가 기판처리장치와 관련한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

테스는 특허의 주요내용에 대해 “본 발명에 따른 기판처리장치가 적용된 식각장치, 증착장치 및 태양전지 제조장치에서는 식각부산물 또는 파티클이 챔버를 오염시키는 것을 효과적으로 방지할 수 있다”고 설명했다.

이어 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화라고 전했다.

이윤재 기자 gal-run@