테스, 기판 처리장치 특허 취득

[아시아경제 박민규 기자] 테스 는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 특허를 취득했다고 25일 공시했다. 이를 통해 배기 압력 분포를 공정 중단 없이 쉽게 조절할 수 있고 막 균일도의 저하를 방지할 수 있다고 테스는 설명했다.

박민규 기자 yushin@