테스, 기판처리장치 특허권 취득

[아시아경제 문소정 기자] 테스 는 기판처리장치의 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.

회사 관계자는 이번 특허에 대해 "모든 기판이 일정한 양과 시간 동안 공정가스에 노출되는 구조를 형성함으로써 기판에 증착되는 박막의 균일도가 향상된다는 게 특징이다"고 전했다.

문소정 기자 moonsj@