방사광가속기 이용, 반도체 효율증대 나노패턴 기술개발

포스텍 포항가속기연구소 황찬국 박사

[아시아경제 김수진 기자] 포스텍 포항가속기연구소(PAL, 소장 이문호)는 29일 황찬국 박사팀이 포항방사광가속기의 극자외선을 이용, 반도체 효율을 증대시킬 수 있는 '펜타센 나노패턴' 기술을 개발했다고 밝혔다.

이번 연구성과는 나노분야 권위지 ‘에이씨에스 나노(ACS Nano)’ 9월호에 게재될 예정이다.

펜타센은 전하 이동도가 높아 유기반도체용 소재로 각광받는 화합물이다. 황찬국 박사팀은 극자외선으로 펜타센 분자를 상호결합시킬 수 있다는 사실을 확인하고, 이를 이용해 30나노미터(nm)급 분자 패터닝에 성공했다.

황 박사팀이 개발한 펜타센 나노기술은 기존 반도체 미세 패턴 제작방식에 비해 안정성이 크고 패턴 제작 과정에서 잔류물이 거의 없어 친환경적인 장점이 있다. 또한 미세 패턴의 폭과 너비를 조절할 수 있어 집적도가 높은 반도체를 생산할 수 있게 된다.

황 박사는 "이번 연구성과는는 반도체 분야에 실질적으로 적용할 수 있어 메모리, 태양전지, 광학장치 등의 집적도와 효율을 높이는 데 응용할 수 있다"고 말했다.

한편 교과부와 포스텍이 지난 1995년 공동 건립한 포항가속기 연구소는 생명공학, 나노연구 등의 국가 공동연구시설로 활용되고 있다. 교과부 관계자는 "지난해부터 기존 방사광가속기 성능향상사업을 추진 중"이라며 "내년 성능향상사업이 마무리되면 보다 많은 연구 성과가 나올 수 있을 것으로 기대된다"고 말했다.

김수진 기자 sjkim@