저비용 대면적 나노패턴기술 개발돼

[아시아경제 김수진 기자] 카이스트와 삼성전자 LCD 사업부가 나노기술의 난제를 해결했다.

카이스트는 신소재공학과 김상욱 교수팀과 삼성전자 LCD 사업부가 분자자기조립현상(Molecular Self-assembly)과 디스플레이용 광리소그래피(Optical Lithography) 공정을 융합해 나노기술의 오랜 난제로 여겨지던 '저비용 대면적 나노패턴기술'개발에 성공했다고 23일 밝혔다.

최근 나노기술 분야에서는 서로 다른 종류의 고분자를 화학적으로 결합시킨 블록공중합체가 새로운 나노패턴소재로 각광받고 있으나, 현재까지 개발된 블록공중합체 나노패턴은 개발에 높은 비용이 필요하고 넓은 면적에 적용할 수 없다는 한계가 있었다.

반면 김 교수팀은 이번에 개발한 융합기술을 통해 대면적에서 잘 정렬된 나노패턴을 형성하는데 성공했다.

또한 이번에 개발된 나노패턴기술은 기존에 비해 더 단순하고 공정비용이 저렴하며 넓은 면적에서 연속공정이 가능해 차세대 반도체나 디스플레이 분야에 폭넓게 이용될 수 있을 것으로 기대되고 있다.

김 교수는 "이번 연구결과는 나노패턴기술이 실제 나노소자공정에 이용될 수 있는 가능성을 크게 넓혔다"고 말했다.

한편 이번 연구결과는 김 교수팀과 삼성전자 LCD사업부가 3년간 공동연구해 온 것으로 나노기술분야 학술지인 'ACS Nano'지 19일자 온라인판에 소개됐다.

김수진 기자 sjkim@