LG디스플레이-연세대, 포토마스크 기술 논문 네이처지 게재

연세대학교 심우영 교수 연구팀
초미세 패턴 구현 '포토리소그래피' 개발

[아시아경제 이동우 기자] LG디스플레이가 산학협력의 일환으로 지원한 연세대학교 연구팀의 논문이 세계적인 과학저널 '네이처 커뮤니케이션즈' 최신호에 게재됐다.

LG디스플레이는 13일 인큐베이션 과제 지원을 통해 연세대학교 심우영 신소재공학과 교수 연구팀이 LCD 및 OLED의 고해상도 구현을 가능하게 하는 새로운 포토마스크 기술을 개발했다고 밝혔다.

포토마스크란 반도체 및 디스플레이 등 공정을 위해 순도가 높은 석영기판 위에 미세회로를 크롬으로 형상화한 것을 뜻한다. 회로 패턴을 담아낸 마스크는 사진 원판의 역할을 한다.

이번 논문은 유연하고 투명한 타입의 새로운 포토마스크를 이용해 기존에 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 '포토리소그래피' 기술 개발에 관한 것이다. 해당 기술은 LCD 뿐만 아니라 OLED에도 적용 가능하다.

연구팀은 딱딱한 형태인 기존 포토마스크의 한계를 극복하기 위해 유연하고 투명한 타입의 새로운 마스크와 이를 사용하는 공정을 개발했다. 기존 디스플레이용 노광장비로도 현재 만들 수 있는 크기의 100분의1 수준에 해당하는 수십 나노미터의 초미세 패턴을 구현할 수 있게 했다.

초미세 패턴으로 제작한 전자회로는 고해상도 구현에 필수적이다. 유연한 재질의 마스크는 휘어진 기판에도 적용 가능해 다양한 형태의 디스플레이 생산에 기여할 가능성이 기대된다고 회사 측은 설명했다.

논문의 공동 저자인 LG디스플레이 장기석 박사는 "이번 개발된 포토리소그래피 기술은 미래 디스플레이 기술 발전에 크게 기여할 수 있는 씨드 기술"이라고 말했다.

심 교수는 "이 연구는 빛의 회절한계를 극복할 수 있는 포토리소그래피 공정을 개발했다는 점에 의의가 있다"며 "평면뿐만 아니라 곡면 기판에도 적용이 가능해 향후 다양한 형태의 소자 공정에 적용할 수 있을 것으로 기대된다"고 설명했다.

한편 LG디스플레이는 2015년부터 디스플레이 산업 발전을 위한 산학 프로그램인 ‘LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램'을 운영, 기업과 대학이 함께 디스플레이 기반 기술 및 제품 아이디어를 모으고 산업화가 실현될 수 있도록 지원하고 있다.

이동우 기자 dwlee@asiae.co.kr