주성엔지니어링, 특허 3종 취득
[아시아경제 김철현 기자]
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은 ▲분리되는 가스 피딩 블록을 이용한 가스 유입 장치 ▲원자층 증착을 이용한 금속 산화막 형성 방법 ▲섀도우 프레임을 포함하는 액정표시장치용 증착장치 및 그의 동작방법 등 3종의 기술이 특허를 취득했다고 17일 공시했다.
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