DMS, 하이닉스에 반도체 핵심공정장비 공급

[아시아경제 김수희 기자]반도체 및 디스플레이 장비기업인 DMS는 반도체전공정 핵심장비인 건식식각장비(드라이에처)를 하이닉스반도체로부터 처음 수주 받았다고 2일 밝혔다.

이는 DMS가 지난달 10월 삼성전자로부터 메모리 건식식각장비 첫 수주에 성공한 후 1개월 만에 얻은 성과로, 순수 자체기술로 국산화함으로써 반도체 장비시장에 성공적으로 진입했다는 면에서 의미가 크다.

DMS는 작년 4월, 지식경제부와 하이닉스반도체가 대·중소기업 상생협력 프로그램의 일환으로 추진 중인 ‘성능평가 협력사업’에 참여해 건식 식각장비를 양산라인에 납품, 장비의 성능을 검증 받아 국산화에 성공해 공급계약을 체결하게 되었다고 말했다. 건식 식각장비는 현재 국산화율이 낮고 해외 의존도가 높아 국산화가 시급한 국책과제 중 하나인 제품이다.

이번 DMS가 개발한 건식 식각장비 ‘i-제미너스’는 반도체 300mm 40나노급 메모리제품의 양산에 이미 적용했으며 차세대 메모리제품에 대해서도 양산성능을 확인 중에 있다. 또한 교체주기가 길어 장비의 가동률이 높아 안정성을 확보한 스마트한 컨셉의 획기적인 제품이다.

DMS 관계자는 "상생협력 프로그램을 통해 추진된 반도체 건식식각장비의 평가기에 대한 성능 및 품질을 인정받음으로써 반도체강국에 걸 맞는 국산설비의 안정적인 자리매김과 세계적인 경쟁력을 확보하는 성과를 거두었다"고 자평했다.

김수희 기자 suheelove@asiae.co.kr