[공시Plus]유진테크, 삼성전자에 반도체 양산장비 공급

LP-CVD 반도체 장비 제조업체 유진테크가 삼성전자에 플라즈마 시스템(Plasma System)을 공급하는 27억2800만원 규모 계약을 체결했다고 22일 밝혔다.

유진테크는 삼성 반도체 양산라인에 적용되는 플라즈마 장비 공급으로 메모리 반도체에 있어서도 매출처 다변화를 이루게 됐다는 입장이다. 또한 반도체장비 국산화에 있어서도 큰 수확을 거뒀다는 것.

회사측은 "보통 750℃ 이상의 온도에서 웨이퍼 증착 공정을 수행하는 기존의 LP-CVD에 비해 플라즈마 장비는 300~800℃ 사이의 폭넓은 온도 범위 내에서 공정이 가능하다"며 "Albatross™라는 이름이 붙여진 이 장비는 국내에서는 유진테크가 유일한 제조 업체"라고 설명했다.

엄평용 유진테크 대표이사는 "플라즈마 장비는 초미세공정으로 진화되면서 적용공정이 폭넓은 것이 특징"이라며 "삼성전자로의 납품은 국내 전공정 장비 기술의 쾌거" 라고 말했다.

박선미 기자 psm82@asiae.co.kr