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톱텍, 합착기판의 스테이지 평탄도 보정장치 특허 취득

최종수정 2014.06.12 10:56 기사입력 2014.06.12 10:56

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[아시아경제 권해영 기자] 톱텍은 합착기판의 스테이지 평탄도 보정장치와 관련한 특허를 취득했다고 12일 공시했다.


권해영 기자 roguehy@asiae.co.kr

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