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테스, 플라즈마 처리장치 특허권 취득

최종수정 2014.06.11 11:21 기사입력 2014.06.11 11:21

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[아시아경제 김민영 기자] 테스 는 플라즈마 처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 11일 공시했다.

회사 측은 "상기 플라즈마 처리장치를 이용하여 비정질 탄소막(ACL)을 형성하는 경우 비정질 탄소막의 밀도 또는 강도가 증가하며 내식각성이 향상시킬 수 있어 운용 효율성이 증대된다"며 "플라즈마 처리장치의 성능을 향상시켜 생산성을 높일 수 있다"고 설명했다.

김민영 기자 argus@asiae.co.kr

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