테스, 플라즈마 반응 장치와 관련 특허권 취득
[아시아경제 임혜선 기자] 테스 테스 close 증권정보 095610 KOSDAQ 현재가 84,000 전일대비 2,600 등락률 -3.00% 거래량 260,213 전일가 86,600 2026.04.30 15:30 기준 관련기사 테스, SK하이닉스향 265억 규모 반도체 제조장비 공급 계약 테스, 121억 규모 반도체 제조장비 공급 계약 '2025 코스닥 대상' 시상식 개최…넥스틴, 국무총리상 영예 는 21일 인젝터 모듈 및 이를 사용하는 플라즈마 반응 장치와 관련된 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사 측은 "이 장치는 챔버 내부로 유입되는 공정 가스가 원하지 않는 곳으로 유동하는 것이 저지돼 균일한 박막 형성과 공정 가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있다"라고 설명했다.
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