LIG에이디피, 화학기상 증착장치 등 관련 특허 취득

[아시아경제 이상미 기자] 인베니아 는 화학기상 증착장치 및 가스공급유닛, 온도제어방법(LED용 MOCVD)에 관한 특허를 취득했다고 27일 공시했다. 회사 측에서는 "이번 특허기술로 LED 소자 제조 시 증착 가스를 공급하는 샤워헤드 중심부의 처짐 및 변형을 방지해 균일한 증착이 이루어지도록 하는 역할을 한다"고 밝혔다.

이상미 기자 ysm1250@