회사 측에 따르면 이번 특허는 밀폐형 수납 용기(FOUP)에 적용되는 가스켓으로 일정한 방향으로 굴곡돼 균일한 밀봉력을 얻을수 있다. 용기 내부의 일정한 압력 유지 및 외부로부터 이물 유입을 방지하는 가스켓 기술이다.
상아프론테크는 "반도체 웨이퍼 수납용 밀폐용기의 부품으로 활용할 계획"이라고 밝혔다.
김유리 기자 yr61@
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