테스, '기판 트레이 유닛' 특허권 취득

[아시아경제 박미주 기자] 테스 는 '기판 트레이 유닛' 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.

이 특허는 대면적 기판처리 장비에 적용되는 기술이다. 공정 수행시 다수의 기판들이 이탈되지 않고 정위치할 수 있고, 기판이 이탈될 경우 원위치로 회복할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

회사 측은 "이 특허를 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.

박미주 기자 beyond@asiae.co.kr