테스, 박막증착장치 특허권 취득
[아시아경제 양성희 기자]
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는 박막증착장치 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 회사 측은 “기판 처리량을 현저하게 향상시킬 수 있으며 기판 표면에 증착이 균일하게 이뤄지도록 해 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있다”고 밝혔다.
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