[아시아경제 오현길 기자]
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는 플라즈마식각장치에 대한 특허권을 취득했다고 15일 공시했다.
회사측은 LCD Wet 패널 식각 공정에 적용할 예정이라고 밝혔다.
오현길 기자 ohk0414@
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