에스티아이, 플라즈마 식각장치 특허권

[아시아경제 오현길 기자] 에스티아이 는 플라즈마식각장치에 대한 특허권을 취득했다고 15일 공시했다.

회사측은 LCD Wet 패널 식각 공정에 적용할 예정이라고 밝혔다.

오현길 기자 ohk0414@