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[특징주]영창케미칼, 삼성SDI 게임체인저 무기물 PR 개발…세계 최초 PR용 린스 양산 부각↑

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와이씨켐 이 강세다. 삼성SDI가 EUV 용 무기물 PR을 개발하겠다고 밝혔다는 소식에 EUV용 린스를 국산화한 점이 부각된 것으로 풀이된다.


7일 오전 9시32분 현재 영창케미칼은 전일 대비 3.46% 상승한 1만3780원에 거래되고 있다.

업계에 따르면 삼성전자는 지난 2일(현지시간) 미국에서 열렸던 세계 최대 광공학회 'SPIE 2023'에서 세계 극자외선(EUV)용 PR 동향과 함께 삼성SDI의 무기물 PR 개발 내용을 언급했다. PR은 반도체 제조 공정 중 노광 공정에서 반드시 필요한 소재다. 무기물 PR은 유기물 PR의 문제점을 해결할 수 있는 대안으로 떠오르고 있다.


매체에 따르면 국내 반도체 소재 업체 중 영창케미칼이 무기물 PR 연구 개발 내용을 기술 로드맵에 올려놓은 것으로 알려졌다.


영창케미칼은 2004년 ArF & KrF 포토레지스트용 린스를 세계 최초로 개발해 양산화했다. 2015년에는 특수 목적의 ArF 이머전 공정용 린스를 세계 최초로 개발했다. 또한 2021년 EUV 린스를 개발했고 2022년 국내 소자업체와 상용화 진행 중에 있다.




장효원 기자 specialjhw@asiae.co.kr
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