테스, 인라인 기판처리시스템 특허권 취득

[아시아경제 진희정 기자] 테스 는 인라인 기판처리시스템에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

테스 관계자는 "트레이를 사용하지 않고 복수의 기판을 한번에 공정쳄버로 이송할 수 있다"며 "이번 특허로 기존 발생하는 각종 문제들을 해결할 수 있다"고 말했다.

향후 테스는 장비를 제조할 때 이번 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획이다.

진희정 기자 hj_jin@