로체시스템즈, 밀폐형 카세트 적재장치 특허권 취득

[아시아경제 심나영 기자] 로체시스템즈 는 밀폐형 카세트 적재장치에 관한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다. 이 기술은 밀폐형 카세트 내에 적재되어 있는 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 하는 것으로, 자사 반도체 제조장치에 적용될 예정이라고 밝혔다.

심나영 기자 sny@