원익IPS, 기판처리 장치 관련 특허 취득
[아시아경제 정준영 기자]원익아이피에스( 원익홀딩스 원익홀딩스 close 증권정보 030530 KOSDAQ 현재가 32,800 전일대비 1,700 등락률 -4.93% 거래량 1,728,503 전일가 34,500 2026.04.30 15:30 기준 관련기사 '휴전 지속 기대감' 장 초반 코스피 5800 후반대…코스닥도 상승 NH-Amundi운용, HANARO K휴머노이드테마TOP10 ETF 상장 종목은 잘 골랐는데 투자금이 아쉽다면? 연 4%대 금리로 최대 4배까지 )는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 특허를 취득했다고 28일 공시했다.
회사에 따르면, 해당 특허는 챔버에서 배출되는 반응 가스의 유속 및 챔버 압력을 용이하게 제어할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것으로 제품 경쟁력 강화 및 차별화에 기여할 것으로 내다봤다.
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