[아시아경제 정준영 기자]원익아이피에스(
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)는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 특허를 취득했다고 28일 공시했다.
회사에 따르면, 해당 특허는 챔버에서 배출되는 반응 가스의 유속 및 챔버 압력을 용이하게 제어할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것으로 제품 경쟁력 강화 및 차별화에 기여할 것으로 내다봤다.
정준영 기자 foxfury@
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