회사측은 PECVD ACL에 대해 "반도체 장비재료 성능평가 사업 '상생프로젝트' 개발사업자에 선정돼 국산화한 장비로 삼성전자 양산라인에서 1년에 걸친 평가를 마무리해 양산 성능평가 인증을 받은 제품"이라고 밝혔다.
주숭일 대표는 "이번 수주를 시작으로 지속적인 연구개발을 통해 반도체 및 태양전지 장비의 국산화에 매진할 것"이라고 말했다.
임철영 기자 cylim@asiae.co.kr
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