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테스, 기판 처리장치 특허 취득

최종수정 2014.03.04 14:28 기사입력 2014.03.04 14:28

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[아시아경제 김철현 기자] 테스 는 기판 처리장치에 대한 특허를 취득했다고 4일 공시했다. 이는 분사 영역을 통해서만 가스가 분사됨으로써 가스의 소모량을 감소시킬 수 있는 기술이다.

김철현 기자 kch@asiae.co.kr

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