3S, 웨이퍼운송용기 신기술 인증

[아시아경제 구채은 기자]삼에스코리아(이하 3S )가 개발한 웨이퍼 운송용기(FOUP)에 적용되는 '분산토출 유도로를 갖는 웨이퍼 캐리어(Foup) N2 purge 성능 개선 기술'이 한국산업기술진흥협회 주관 2013년도 제2회 신기술(NET) 인증기술로 최종선정 됐다.

국이 기술은 FOUP 내부 잔류 가스를 빼내기 위해 질소를 투입하던 기존의 방법을 바꿔 분산토출 유도로를 통해 신속하게 질소 충전이 되게 한 것이다. 이를 통해 기존 기술대비 30% 이상 시간 단축이 이뤄졌다.

ㅜNET인증은 신기술의 상용화를 촉진시키기 위해 산업통상자원부 산하 기술표준원에서 발급하는 인증이다. 인증제품에 대해서는 정부기술개발사업 신청시 우대 및 기술보증기금을 통한 기술금융지원등의 혜택이 주어진다.

회회사 관계자는 “이번 NET신기술 인증을 통해 당사의 웨이퍼캐리어 설계기술이 해외기술을 따라가는게 아니라 선도하는 단계에 접어들었다는 것을 공식적으로 인정받았다"면서 "이를 바탕으로 웨이퍼캐리어 제조사로서의 입지를 확고히 할 수 있는 계기가 될 것”이라고 밝혔다.

구채은 기자 faktum@asiae.co.kr