반도체 공정서 발생하는 PFC가스 저감장치 생산중
20일 오전 11시20분 현재 포휴먼은 전일 대비 550원(3.67%) 오른 1만5550원에 거래되고 있다.
포휴먼의 100% 자회사인 FH는 저온 플라즈마 공법을 이용해 반도체 공정에서 발생하는 PFC가스 등 환경오염물질을 저감시키는 장치를 독자기술로 연구 개발해 생산 및 판매하고 있는 업체다.
포휴먼은 사업보고서를 통해 반도체회사와 공동개발한 PFC 처리장치인 PFC 플라즈마 시스템이 독점적이고 배타적인 국내외 제조 및 판매권을 보유하고 있다고 밝혔다.
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이솔 기자 pinetree19@asiae.co.kr
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