테스, 기판 처리 장치 특허권 취득

[아시아경제 권성회 기자] 테스 는 반도체 장비에 적용되는 기판 처리 장치에 관해 특허권을 취득했다고 20일 공시했다. 회사 측은 “기판 처리 시 이송 로봇의 직선 운동 과정에서 발생하는 흔들림으로 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 웨이퍼 이송을 보다 안정적으로 진행 할 수 있다”고 설명했다.

권성회 기자 street@asiae.co.kr