이 특허는 동적특성을 가진 물체의 표면정보를 빛을 이용해 얻어내는 간섭계장치의 측정을 용이하게 만들고, 측정 정밀도를 향상시키는 스캐닝 동기화에 관한 것이다.
회사 측은 이 특허를 디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획이라고 밝혔다.
박미주 기자 beyond@asiae.co.kr
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