테스, 기판처리시스템 특허권 취득
[아시아경제 김민영 기자] 테스 테스 close 증권정보 095610 KOSDAQ 현재가 84,000 전일대비 2,600 등락률 -3.00% 거래량 260,213 전일가 86,600 2026.04.30 15:30 기준 관련기사 테스, SK하이닉스향 265억 규모 반도체 제조장비 공급 계약 테스, 121억 규모 반도체 제조장비 공급 계약 '2025 코스닥 대상' 시상식 개최…넥스틴, 국무총리상 영예 는 기판처리시스템과 관련한 특허를 취득했다고 22일 공시했다.
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회사 측은 "하부막에 데미지가 발생하는 것을 방지하면서도 식각 부산물 및 흄을 모두 제거할 수 있는 특허"라며 "기판처리시스템의 설치면적 대비 생산성이 매우 향상되는 효과가 기대된다"고 설명했다.
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