테스, 기판처리시스템 특허권 취득

[아시아경제 김민영 기자] 테스 는 기판처리시스템과 관련한 특허를 취득했다고 22일 공시했다.

회사 측은 "하부막에 데미지가 발생하는 것을 방지하면서도 식각 부산물 및 흄을 모두 제거할 수 있는 특허"라며 "기판처리시스템의 설치면적 대비 생산성이 매우 향상되는 효과가 기대된다"고 설명했다.

김민영 기자 argus@asiae.co.kr