위지트, 반도체 가스분사장치 특허 취득

[아시아경제 이지은 기자]코스닥 상장기업 위지트 는 반도체 제조공정에 사용되는 가스분사장치(샤워헤드)관련 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.

기존 샤워헤드는 진공 배기에 의한 외력 발생으로 가스분사 장치 신뢰성이 저하될 수 있는 문제가 있었지만, 위지트의 특허는 공정 사용 중 외력에 의한 가스분사 장치의 변형을 억제해 준다는 설명이다.

위지트 측은 "이번 발명으로 300mm 및 450mm 가스 분사장치 및 유사한 구조를 갖는 반도체 및 디스플레이 제조 공정 장비용 부품의 제조 경쟁력을 확보했다"고 평가했다.

이지은 기자 leezn@