테스, '인라인 기판 처리시스템 및 공정챔버'관련 특허 취득

[아시아경제 정준영 기자]코스닥 상장기업 테스 는 인라인 기판 처리시스템 및 공정챔버에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했다.

테스에 따르면 이번 특허는 기판의 이송거리를 감소시켜 택타임을 줄임으로써 생산성이 증대된다는 장점이 있어 제품경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대했다.

정준영 기자 foxfury@