에스엔유, 패턴 결함 검사 방법 관련 특허 취득
[아시아경제 조유진 기자] 에스엔유 에스엔유 close 증권정보 080000 KOSDAQ 현재가 1,618 전일대비 0 등락률 0.00% 거래량 0 전일가 1,618 2024.12.19 15:30 기준 관련기사 [e공시 눈에 띄네]코스닥-27일 [e공시 눈에 띄네] 코스닥-5일 에스엔유, 충남테크노파크로부터 41억 규모 증착장비 수주 는 '패턴의 결함 검사 방법' 관련 특허권을 취득했다고 22일 공시했다. 취득한 특허는 디스플레이 제조장비 생산에 활용할 계획이다.
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회사 측은 "이 특허는 대면적화된 기판에 형성된 패턴에서 형성된 결함의 존재 여부 및 결함의 위치를 용이하게 검사할 수 있는 패턴의 결함 검사 방법에 관한 것"이라고 설명했다.
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