에스엔유, 패턴 결함 검사 방법 관련 특허 취득

[아시아경제 조유진 기자] 에스엔유 는 '패턴의 결함 검사 방법' 관련 특허권을 취득했다고 22일 공시했다. 취득한 특허는 디스플레이 제조장비 생산에 활용할 계획이다.

회사 측은 "이 특허는 대면적화된 기판에 형성된 패턴에서 형성된 결함의 존재 여부 및 결함의 위치를 용이하게 검사할 수 있는 패턴의 결함 검사 방법에 관한 것"이라고 설명했다.

조유진 기자 tint@asiae.co.kr