김 박사는 세계 처음 플라즈마 진공공정 중 식각(경사면이 수평면과 이루는 각도)장비에 쓰는 공정플라즈마 전자밀도의 절대값을 재는 기술을 개발했다.
또 반도체, 디스플레이 등의 일부 분야에만 쓰던 플라즈마를 첨단소재 등 여러 분야에서도 이용할 수 있다.
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최장준 기자 thispro@asiae.co.kr
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