탑엔지니어링 '기판 식각 장치' 특허 취득

[아시아경제 금보령 기자] 탑엔지니어링 은 '기판 식각 장치'와 관련된 국내 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

탑엔지니어링 측은 "이번 특허는 기판을 이송하는 구동원에 기인하지 않고, 이송되는 기판의 저면에 접하여 연동 회전되면서 외부에서 흡수된 식각액을 기판의 저면에 연속적으로 공급할 수 있는 기판 식각 장치를 제공하는 것"이라며 "FPD제조 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 설명했다.

금보령 기자 gold@asiae.co.kr