[아시아경제 원다라 기자]SK하이닉스는 26일 컨퍼런스콜을 통해 "극자외선 노광장비(EUV) 장비가 1znm에는 2019년 도입될 것으로 예상된다"고 밝혔다.

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이어 "1xnm는 EUV 없이도 올해 말까지 연구·개발하려고 하고 있다"며 "1ynm는 백업 공정 중 일부 레이어를 EUV로 대체할 것을 준비하고 있지만 도입이 확실하지는 않다"고 덧붙였다.


원다라 기자 supermoon@asiae.co.kr

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