SK하이닉스, 국내 소부장과 네온가스 재활용 기술 개발

수급 불확실성 해소 및 환경 개선

SK하이닉스가 국내 반도체용 특수 가스 기업인 TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다고 1일 밝혔다. 최근 국제 정세 불안으로 수입에 의존해온 네온 수급 불확실성이 커지자 국내 소부장 기업과 재활용 기술을 개발, 1년여 만에 성과를 이뤘다.

네온은 희귀 가스(공기 중에 극소량만 존재하고 인공 제조가 불가능한 산업용 가스) 종류다. 반도체 웨이퍼(실리콘 원판)에 레이저 등으로 회로를 그리는 노광 공정에 필수인 엑시머 레이저 가스 주요 성분이기도 하다. 네온은 레이저 광원으로 활용할 때 화학적으로 분해되거나 변형되지 않아 재활용이 가능한 특징이 있다.

SK하이닉스와 TEMC는 노광 공정 이후 스크러버(반도체 생산 공정에서 발생하는 가스, 화합물 걸러내고 제거하는 장치)를 통해 공기 중에 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집하고, TEMC 가스 처리 과정을 거쳐 네온만 별도로 분리해 정제하는 기술 개발에 성공했다. 정제한 네온은 다시 SK하이닉스 반도체 제조 공정에 사용될 예정이다.

SK하이닉스 측은 "이번 기술 개발은 소재 및 장비 협력사가 각 분야 전문 지식을 바탕으로 긴밀하게 협력해 만들어진 성과"라며 "앞으로도 전문성을 갖춘 협력사와의 파트너십을 더욱 발전시켜 나갈 계획"이라고 밝혔다.

네온 재활용 기술이 반도체 팹(공장)에 적용되면 연간 400억원 상당의 네온 구매 비용이 줄어들 수 있다. 네온 생산 과정에서 나오는 연간 온실가스 배출량(스코프3·사업장 내외부에서 발생하는 배출량 포함)을 1만2000t가량 줄이는 효과도 낼 전망이다.

SK하이닉스는 앞으로 반도체 공정에서 화학적으로 분해, 변형되지 않는 모든 소재를 재활용할 계획이다. 앞서 회사는 지난 2월 '재활용 소재 사용 중장기 로드맵'을 발표하고 재활용 소재 비율을 2025년까지 25%, 2030년까지 30% 이상으로 늘리겠다는 목표를 밝힌 바 있다.

김평화 기자 peace@asiae.co.kr