[아시아경제 정준영 기자]
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는 포토레지스트 베이크 장치 관련 특허를 취득했다고 12일 공시했다.
회사 측은 반도체 범핑 공정의 핵심기술인 포토리소그래피 공정의 제조경쟁력을 극대화에 활용할 계획이다.
정준영 기자 foxfury@asiae.co.kr
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