STS반도체, 포토레지스트 베이크 장치 관련 특허 취득

[아시아경제 정준영 기자] SFA반도체 는 포토레지스트 베이크 장치 관련 특허를 취득했다고 12일 공시했다.

회사 측은 반도체 범핑 공정의 핵심기술인 포토리소그래피 공정의 제조경쟁력을 극대화에 활용할 계획이다.

정준영 기자 foxfury@asiae.co.kr