엘아이지에이디피, LED용 화학기상 증착장치 특허권 취득

[아시아경제 배경환 기자] 엘아이지에이디피는 화학기상 증착장치(LED용 MOCVD)에 대한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다. 회사측은 “증착이 이뤄지는 챔버 내부의 온도를 측정하는 센서부의 보호에 관한 것으로 공정의 안정성을 높여주는 역할을 한다”고 설명했다.

배경환 기자 khbae@