ASML, 화성 반도체클러스터 내달 착공…후속투자도 검토

ASML, 韓에 2400억 투입…후속투자 논의 중
ASM도 1000억 투자 결정…ALD 세계 1위 업체

반도체 장비 점검하는 이재용 부회장 (서울=연합뉴스) 이재용 삼성전자 부회장(왼쪽 두 번째)이 지난 6월 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO, 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO 등과 반도체 장비를 점검하고 있다. 2022.6.15 [삼성전자 제공. 재판매 및 DB 금지] photo@yna.co.kr (끝) ＜저작권자(c) 연합뉴스, 무단 전재-재배포 금지＞

[아시아경제 세종=이준형 기자] 네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 한국에 짓기로 한 반도체 클러스터가 다음달 첫 삽을 뜬다. 이미 예정된 투자 규모만 2400억원으로, ASML은 추가 투자도 검토 중이다. 또 다른 네덜란드 반도체 장비업체 ASM도 한국에 대규모 투자를 단행하기로 했다.

산업통상자원부는 ASML이 다음달 경기 화성에 반도체 클러스터를 착공한다고 14일 밝혔다. 앞서 문동민 산업부 무역투자실장은 최근 네덜란드 ASML 본사를 방문했다. 문 실장은 ASML 측과 화성 반도체 클러스터 조성 계획을 점검하고 후속투자에 대한 구체적 협의를 진행했다.

ASML은 반도체 노광장비 분야 세계 1위 업체다. 최첨단 반도체 미세공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산해 반도체 업계 '슈퍼 을'로 불리기도 한다. 산업부는 2020년 초부터 ASML을 대상으로 투자 유치 활동을 펼쳤고, 지난해 5월 투자 협약을 체결했다.

ASML은 올해부터 2024년까지 2400억원을 들여 화성 반도체 클러스터를 구축한다. 반도체 클러스터 면적은 1만6000㎡로 ASML의 반도체장비 제조센터와 EUV 및 심자외선(DUV) 트레이닝센터가 들어선다.

산업통상자원부가 투자 유치를 논의한 독일 및 네덜란드 기업 목록. [사진제공 = 산업통상자원부]

산업부는 ASM의 신규 투자도 유치했다. ASM은 세계 10대 반도체 전공정 장비업체다. 반도체 웨이퍼에 원자 단위 깊이의 산화막을 증착하는 장비를 생산해 삼성전자, SK하이닉스 등에 공급한다. ASM은 1000만달러(약 143억원)를 투자해 한국에 반도체 장비 생산공장이나 연구개발(R&D) 센터를 구축할 계획이다.

독일 광학부품 제조업체 칼 자이스도 대규모 한국 투자를 검토 중이다. 칼 자이스는 ASML에 EUV 노광장비용 반사거울을 독점 공급하고 있다. 산업부 관계자는 "칼 자이스는 ASM과 유사한 규모의 투자를 검토 중"이라며 "한국이 안정적인 반도체 공급망을 구축할 수 있는 계기를 마련했다"고 설명했다.

2022년 3분기 외국인직접투자 동향 브리핑 (서울=연합뉴스) 문동민 산업통상자원부 무역투자실장이 이달 5일 정부세종청사 산업부 기자실에서 '2022년 3분기 외국인직접투자 동향' 브리핑을 하고 있다. 2022.10.5 [산업통상자원부 제공. 재판매 및 DB 금지] photo@yna.co.kr (끝) ＜저작권자(c) 연합뉴스, 무단 전재-재배포 금지＞

산업부는 조선 기자재 핵심업체인 독일 KSB와도 투자 관련 논의를 진행했다. KSB는 산업용 펌프 및 벌브 제조업체로, 한국에 한국에 초저온밸브 생산시설을 짓거나 기존 R&D센터를 증설하는 방안을 검토 중이다. KSB가 한국에 대한 투자를 늘리면 액화천연가스(LNG) 운반선이나 액화수소 플랜트에 활용되는 핵심부품 공급망 안정화에 도움이 될 수 있다.

한편 문 실장은 네덜란드 외교부 고위 관계자와 면담을 갖고 공급망 협력 방안을 논의했다. 또 문 실장은 2030 세계박람회를 한국에서 유치할 수 있도록 지지해달라고 당부했다. 문 실장은 "윤석열 정부는 2030 부산세계박람회를 국정과제로 선정하고 범정부적 노력을 기울이고 있다"면서 "세계 10대 경제권으로 성장한 한국의 경험은 선진국과 개도국을 아우르는 폭넓은 공감대를 이끌어 낼 것"이라고 말했다.

세종=이준형 기자 gilson@asiae.co.kr