회사 측은 이번 특허에 대해 "슬라이더 상하부에 롤러를 설치해 방진플레이트와 구동유닛의 접촉면적을 최소화, 구동에 의해 파티클 발생을 최소화할 수 있다"며 "연속구동시간 및 구동속도를 향상시킬 수 있고 수직방향구동의 안정성을 확보할 수 있다"고 설명했다.
김유리 기자 yr61@
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