半导体超纯水国产化“加速”……三养社携手Cepratec开发“脱气膜”

by Oh Jieun

Published 26 Nov.2025 08:48(KST)

在超精细工艺中构建国产协作体系
三养扩大水处理材料产品组合

三养社正在加快推进用于半导体超纯水工艺核心设备——脱气膜（MDG）的国产化，并加速进军全球市场。通过与国内唯一的脱气膜专业企业Sepratec正式展开合作，三养社全面启动了扩展水处理材料产品组合的战略，以满足在超精细工艺中需要将溶解气体去除至1ppb（十亿分之一）水平的半导体行业需求。

三养社26日表示，前一天即25日，在首尔钟路区三养集团总部一层大礼堂与Sepratec签署了半导体超纯水用脱气膜（MDG·Membrane Degasifier）业务合作谅解备忘录。脱气膜是一种去除溶解在水中但肉眼不可见的氧气、氮气、二氧化碳等溶解气体的装置。作为半导体生产的必需材料，超纯水即便含有极微量的离子或气体也可能导致不良，因此需要通过脱气膜工艺将溶解气体浓度降至极低水平。

左起为Sepratech代表Yeom Chunggyun、Samyang社水处理解决方案事业部部长Cho Youngdo，25日在位于钟路的总部一楼大礼堂签署Sepratech与半导体超纯水用脱气膜业务合作协议后合影留念。Samyang社提供

Sepratec是国内唯一一家开发出用于工业用半导体超纯水的脱气膜模块的专业企业。通过特制分离膜，可将超纯水中的溶解氧去除至1ppb（十亿分之一浓度）以下。全球范围内成功实现脱气膜量产的企业中，美国3M之后，Sepratec是第二家。

通过本次协议，三养社得以扩展水处理材料业务组合，向客户提供更加多样化的水处理解决方案。Sepratec在供应脱气膜的同时，将以三养社的离子交换树脂销售网络为基础，拓展海外销售渠道。双方计划于明年6月共同参加在中国举行的全球水处理展会“水处理技术中国（WATERTECH CHINA）2026”，开展联合推广活动。

三养社一直以工业用水处理工艺核心——离子交换树脂技术为基础，将超纯水生产所需的主要材料推向商业化。2023年，三养社通过工业用水处理材料品牌“TRILITE”推出了反渗透膜（RO）以及电去离子装置“TRILITE EDI”。TRILITE反渗透膜具有优异的除盐和去除有机物性能，同时具备高通量特性；TRILITE EDI则利用电能去除水中离子，用于生产纯水及超纯水。