利用人工智能预测半导体化学机械平坦化工艺材料去除率的研究

东亚大学(校长 Lee Haeu)5日表示,该校机械工程系学生在“2024年韩国机械加工学会毕业设计·创意点子竞赛”中获得最优秀奖。

东亚大学机械工学系学生团队在“Capstone Design与创意点子竞赛”中获得最优秀奖后合影留念。东亚大学提供

东亚大学机械工学系学生团队在“Capstone Design与创意点子竞赛”中获得最优秀奖后合影留念。东亚大学提供

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在上月28日于济州市格兰德凯悦酒店举行的本次大赛中,由东亚大学机械工程系本科生组成的团队(Ha Incheol、Kim Seungwoo、Lee Seungmin、Kim Yeongung、Heo Seongjae),凭借作品“在二氧化硅化学机械抛光工艺中利用人工神经网络预测材料去除率”获奖。


本次竞赛共有来自全国各高校的65个团队参赛,通过预赛海报发表并进入决赛口头发表的团队中,最终评选出获奖者。


东亚大学机械工程系团队自今年5月起,参加了东亚大学“以软件为中心的大学项目”支持的“PNP(Pull-aNd-Push)”项目,一直开展“利用人工智能对半导体化学机械抛光工艺的材料去除率进行预测研究”。


负责机械工程系PNP项目指导的 Lee Hyeonseob 教授表示:“在各自都很忙的情况下,学生们在过去7个月里每周都在实验室见面,从基础开始一步一步共同学习和研究,并发表成果,获得了很高评价,这完全是学生们踏实努力的结果。”


负责发表的 Ha Incheol 学生表示:“通过参加以软件为中心的大学项目,我得以学习人工智能和软件在机械工程领域的应用,今后的职业规划也将因此受益良多。”





本报道由人工智能(AI)翻译技术生成。

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