YCChem有望率先在半导体业界量产应用磷酸分析设备…从材料扩展至设备领域

Published 27 May.2024 10:28(KST)

专注于半导体精密化学材料的专业企业YC Chem进军半导体设备业务。

YC Chem以其在半导体材料领域的开发、制造及质量管理方面的技术积累为基础，组建了设备开发团队，一直致力于开发半导体晶圆专用清洗设备。YC Chem开发的晶圆专用清洗设备是一种既可采用单片式（single wafer）又可采用批量式（batch）两种方式的混合型清洗设备，计划于下月向国内半导体相关企业供货。目前也在与其他半导体相关企业就订单签订进行协商。

YC Chem表示，由于半导体高集成化使晶圆清洗的重要性不断提升，微小污染物去除对半导体良率产生巨大影响，因此公司计划将半导体专用清洗设备培育为实现销售组合多元化的新业务。

YC Chem除半导体晶圆清洗设备外，目前还在开发高选择比磷酸浓度分析设备。该设备可在使用高选择比磷酸的半导体生产线上进行实时在线分析，精准测定高选择比磷酸的浓度，并提示更换高选择比磷酸的时间。

YC Chem相关负责人表示：“目前尚无应用于量产线的案例，我们已经完成开发，正处于内部测试阶段，一旦实现商业化，有望成为国内外首例。”他补充称：“最快有望在年内对全球客户进行现场测试。”